ского покрытия для печатных плат благодаря его хорошей свариваемости. Другой областью его применения являются магнитные сплавы и сплавы типа нихрома, требующие специальных методов травления.

Для выполнения рисунка на никелевых сплавах применяют обычные методы, описанные в гл. 4. Для травления используется раствор хлорного железа (42° С Боме) при температуре примерно 38° С. Другими травящими веществами является раствор, состоящий из 1 части HNOg (70%-ной), 1 части НС1, 3 частей НаО (или 4 частей НС1 (37%-ного) и 1 части НаО).

Серебро. Серебро - самый дешевый благородный металл, обладающий наиболее высокой электро- и теплопроводностью по сравнению со всеми другими металлами, хорошей ковкостью (уступая в этом качестве только золоту), высоким коэффициентом отражения-видимого света, имеет высокую точку плавления и относительно хорошую химическую стойкость. Благодаря своим свойствам серебро находит широкое применение в электронной промышлен- ности.

К серебру применимы обычные методы получения рисунка.

Перед травлением необходимо в операцию очистки включать промывку в разбавленной HNO3.

Травление может быть выполнено в 70%-ной азотной кислоте, но при этом выделяется значительное количество тепла в результате высокой скорости реакции. Эффективными травителями являются смеси азотной и серной кислот. Если слой серебра находится на латунной или медной подложках, применяют смесь из 1 части HNO3 (70%-ной, по объему) и 19 частей H2SO4 (96%-ной по объему), в которой будет растворяться серебро и оставаться нетронутой подложка.

Из этих растворов необходимо удалять воду; растворы нужно часто заменять, чтобы избежать образования осадка серебра на меди.

Травление можно производить в растворе, содержащем 40 г хромовой кислоты, 20 мл серной кислоты (96%-ной) и 2000 мл воды [32], с последующей промывкой в 25%-ном растворе аммиака.

Тонкие пленки серебра травят в 55%-ном (по весу) растворе азотнокислого железа (окисном), разбавленном водой или этиленгликолем. Растворы щелочного цианида

и перекиси водорода Также растворяют серебро. Можно использовать электролитическое травление в 15%-ном (по объему) растворе азотной кислоты (70%-ном) при напряжении 2 е и катоде из нержавеющей стали.

Нержавеющая сталь. Некоторое применение в печатных платах находит нержавеющая сталь.

Травление сплавов марок 300-400 можно выполнять в следующих растворах;

1. FeClg (от 38 до 42° Боме), можно добавить 3%-ной НС1.

2. 1 часть НС1 (70%-ной), 1 часть HNOg (70%-ной), ог 1 до 3 частей НгО (по объему). Скорость травления составляет около 75 мкм/мин при 80° С. Этот травитель применим для высоких марок (от 300 до 400).

3. FeCla + HNO3.

4. 100 частей НС1 (37%-ной), 6,5 частей (весовых) HNOg, 100 частей (весовых) HgO.

Коррозийная стойкость металлов. Общие сведения о коррозионной стойкости металлов и резисты для новых травителей можно найти в литературе [33-36].

ПОДТРАВЛИВАНИЕ, ФАКТОР ТРАВЛЕНИЯ И НАВИСАНИЕ

При травлении по мере увеличения глубины травления по вертикали имеется тенденция к горизонтальному распространению процесса травления от поверхности боковых стенок, т. е. к подтравливанию. Степень подтравли- Резист

ванияопределяется факто-

Диэлектрик

ром травления. Для наших целей фактор травления определяется как отношение Фактор травления=y глубины травления к боковому расстояниютравления Рис. 6.27. Определение фактора (рис. 6.27). травления при травлении печат-

В практике наиболее вы- ной платы,

сокий фактор травления

получается при травлении распйлением с вертикальным положением платы. Травление погружением дает более низкий фактор травления. Травление тонких линий с минимальным подтравливанием лучше всего осуществляется при периодическом извлечении печатной платы из травильной

ванны для визуального определения начала подтравливания. Явление подтравливания нужно учитывать и при изготовлении фотооригиналов, особенно для плат с толстым слоем металлизации, высокой четкостью изображения и тонкими линиями. При травлении листового металла фактор травления можно довести до минимума, нанося резист на обе стороны листа для осуществления травления с двух сторон.

При фотогравировке часто применяют присадки. В качестве средства для образования защитных пленок на боко-металлическй резист ix стенках оголенного про-, водника можно использовать Птошабшие \ специальные присадки или ---- травить порошковыми травителями [17, 37]. Дополнительную информацию о травлении

Подтравливание / линий и подтравливании мож-

НаВисанйе / но найти в [16-20].

Мебная фольга. Картина подтравливания

вытравленная подpesucmoh нависания для металличе-

Рис. 6.28. Подтравливание и ких резистов показана на нависание при использовании рис. 6.28. Нависание особенно металлического резиста. опасно для печатных плат,

предназначенных для аппаратуры, работающей при сильных вибрациях, или самолетной аппаратуры, поскольку пленка, образующая навес, опадает в виде металлических стружек и может вызывать короткое замыкание.

Навис после травления ликвидируется крацеванием щеткой из мягкой латуни или ультразвуковой обработкой, промьшкой и применением липкой ленты (непрактично и подвергает металл излишнему шелушению) или примене-ниемрезиста.

ОБОРУДОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ

Технология травления и оборудование, применяемые в настоящее время, развились из четырех основных методов: травления погружением, травления барбатированием, травления распылением и травления разбрызгиванием. Травление распылением является самым универсальным