ВВЕДЕНИЕ...................... 114

ПРИГОТОВЛЕНИЕ ФОТОПЛЕНОЧПОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ ......................... 115

1. Фотокамера.................. 115

2. Фотопленка.................. 118

3. Фотолаборатория ............... 119

4. Изготовление фотопленочного изображения . . . 121

5. Проверка готовой фотосхемы.......... 123

ПОДГОТОВКА ПЛАТЫ К НАНЕСЕНИЮ СХЕМЫ .... 123

6. Очистка парами растворителя.......... 124

7. Механическая зачистка............. 124

8. Крацевание .................. 125

9. Промывка................... 125

10. Химическая очистка.............. 126

11. Декапирование ................ 27

ФОТОРЕЗИСТЫ.................... 128

12. Общая часть ................. 128

13. Выбор резиста и типичные технологические процессы ...................... 129

14. Нанесение фоторезистов ............ 139

15. Предварительное задубливание........ 145

16. Печать (э1Сспонировапие)............ 16

17. Проявление.................. 19

18. Окончательное задубливание .......... 150

19. Удаление резиста ............... 150

20. Оборудование лаборатории........... 151

СЕТКОГРАФИЯ.................... 151

21. Общая часть ................. 151

22. Изготовлопие трафарета ............ 152

23. Шелкографические рамы............ 155

24. Шпатели.................... 156

25. Сетки..................... 157

26. Резистивцые смолы............... 159

27. Трудности при сеткографической печати..... 162

28. Сеткографическая печать вручную........ 163

29. Машинная сеткографическая печать....... 165

ОФСЕТНАЯ ПЕЧАТЬ ................. 168

Литература ...................... 169

8-0?97 \\z

ПЕРЕНОС ИЗОБРАЖЕШМ НА ПЛАТУ

Эдвард Ф, Даффип и Эрнест Армстронг

фирма {{фэрчайлд Семипондакторь, Пало Альта, Калифорния, США

ВВЕДЕНИЕ

Важным начальным этапом в производстве печатной платы является перенос рисованной или сфотографированной схемы расположения проводников на фольгу. Простейший способ прямой печати и травления предполагает нанесение на фольгу резиста в виде позитивной схемы. Непокрытые участки фольги подлежат удалению путем химического травления. Резист, удаляемый после травления, обнажает заданную схему, выполненную в фольге.

По другому способу резистом покрывают участки фольги, не входящие в схему (негативная печать). Непокрытые участки фольги зачищают и гальванически покрывают каким-либо защитным металлом. При этом покрывают и стенки отверстий, подлежащих металлизации. Затем органический резист удаляют, и при травлении меди резистом служит уже предварительно нанесенное металлическое покрытие (припой, золото, олово - никель и др.).

В общем случае при необходимости получения высокого разрешения в схеме желательно применять органические резисты. Необходимым для них условием является их химическая стойкость и размерная стабильность во всех растворах, применяемых в процессе.

Выбор метода печати резиста зависит как от чисто технических (серийность, степень разрешения, производительность), так и от экономических факторов.

Наивысшего разрешения можно добиться при применении фоторезистов, используемых обычно на этапе исследовательских разработок или в мелкосерийном (10-15 шт.) производстве. Степень разрешения при прямой печати позитива и травления зависит от толщины фольги. Типичными параметрами схем, выполняемых на полуунциевой или унциевой медной фольге, являются - ширина проводников 0,13 мм, расстояние между ними 0,13 мм. Более высокое разрешение возможно при применении более точных материалов, например, на тонких или напыленных металлических пленках.

Печатные резисты в условиях крупносерийного производства обеспечивают на полуунциевой или унциевой мед-

ной фольге разрешение от 0,254 до 0,281 мкм. С экономической точки зрения, особенно при высокой производительности, печатные резисты предпочтительнее фоторезистов.

Что касается офсетной печати резистов, то она в наибольшей мере удовлетворяет требованиям высокопроизводительных дешевых процессов, в которых вопросы качества печати отходят на второй план.

Эта глава рассматривает различные виды резистов и способы нанесения изображения на фольгу. Печать изображе- ния на фольгу включает в себя зачистку, нанесение фоторезиста или шелкографическую печать резиста, экспонирование, травление и задубливание. Перед зачисткой фольги и нанесением резиста необходимо изготовить и тщательно проверить трафарет (пленку). Ниже рассмотрены вопросы, касающиеся изготовления трафаретов для нанесения резиста.

ПРИГОТОВЛЕНИЕ ФОТОПЛЕНОЧНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ

Позитивные и негативные пленочные изображения служат трафаретами для фоторезистов как в сеткотрафаретной, так и в литографской печати. Целью последующих операций является перенос до мельчайших подробностей изображения, полученного на пленке. Качество работы и возможность получения высокого разрешения зависят в первую очередь от применяемой аппаратуры и оборудования лаборатории.

Z. Фотокамера

Фотокамера должна обладать следующими достоинствами:

жесткой тяжелой конструкцией на мягкой подвеске; бездисторсионным объективом с плоским полем изображения; мощной системой подсветки для освещения фотобелка; просветным экраном (это лучший способ борьбы с расплывчатыми краями, особенно при изготовлении масок. Позволяет достигнуть коэффициента контрастности порядка 1000 : 1, в то время как прямое освещение фотобелка обеспечивает лишь 50: 1); как можно большим размером экрана, максимально возможной степенью уменьшения; желательно ее варьирование в наиболее широких пределах.

115 8*