ния пленки и подложки. Легко избежать таких затруднений при проекционной печати.

Когда позитивы или негативы получены для печати, мало что можно предпринять для исправления ошибок пленки или фотобелка. Величина радиусов изгиба прямых

Первичный пучок света

паска

Резист

Экспонирование

ГИаска

Первичный, пучок света

Яаска

Резисгт,

Резист

маска

Фольга

Резист

Фольга

Проявление

Завалы

Фольга

Фоторезист негативного действия

Резист

Резист

Фольга

Фоторезист позитивного действа!?

Рис. 4.5. Завалы па резистах негативного п позитивного действия.

вследствие оптических искажений при съемке, оптическая плотность изображения, разрешение, четкость краев линий, искажение полей -все это должно быть оговорено или предусмотрено заранее.

17. Проявление

Собственно проявление. Проявление состоит в вымывании растворимых участков резиста. Проявляющие ванны составляются в зависимости от типа резиста. Для резистов негативного действия в качестве проявителей подходят ТХЭ, спиртовые смеси и смеси уайт-спирита, ксилол, а также специальные жидкости, имеющиеся в продаже. Резисты позитивного действия растворимы в ацетоне, кетонах, эфи-Рах и специальных проявителях, имеющихся в продаже.

Проявлять лучше всего в узких глубоких ваннах с встроенным спрейером. Можно практиковать и просто погружение, но следует иметь в ввду, что спрейерная обработка может повысить разрешение. Процесс ускоряет ультразвуковое возбуждение проявителя. Некоторые проявляющие ванны можно использовать для безупречной очистки.

Время проявления зависит от типа резиста и толщины слоя, от проявителя и метода его использования. Обычно проявление длится 2-3 мин.

Промывка. После проявления заготовку сигнала промывают в проявителе, ТХЭ, ацетоне или ксилоле, а затем струей деионизированной воды и окрашивают в окрашивающей ванне.

Окрашивание. Окрашивание преследует цель снизить время на ретуширование заготовок плат, предназначенных как для травления, так и для нанесения гальванического покрытия. Окрашивание не рекомендуется проводить в тех случаях, если требуется очень высокое разрешение или повышенная химическая стойкость слоя.

Можно вместо окрашивания заготовку обрабатывать фотопрояБителем, но это чревато обесцвечиванием, загрязнением серебром и не обеспечивает высокого цветного контраста.

18. Окончательное задубливание

Иногда для повышения химической стойкости резиста в гальванических или травящих растворах слой подвергают окончательному задубливанию.

Для этих целей подходит циркуляционная сушилка. Температура и продолжительность задубливания зависят от толщины слоя и типа резиста. Необходимость этой операции должна быть определена в каждом отдельном случае, так как окончательное задубливание уменьшает адгезию резиста. Для процессов прямой печати и травления окончательное задубливание не нужно. Если необходима ретушь, ее проводят до окончательного задубливания.

19. Удаление резиста

После запланированного нанесения гальванического покрытия или травления резист удаляют. Этот процесс рассмотрен в гл. 6.

20. Оборудование лаборатории Типовая планировка приведена на рис. 4.6.

Очаста-тельное отделение

Комната . дли окоичо- тельной ретуши

Окно для Выдачи натериала

Отделение контроля

Печь для задубливания

Ванна

для очистии парами растворителя

Верстак

Полка

Проекционный аппарат

Печь для задубливания

Стол-стеллат

Проекционный аппарат

Проявители и /красители

Средства для ретуши

Рис. 4.6. Оборудование лаборатории по обработке фоторезистов СЕТКОГРАФИЯ 21. Общая часть

Сеткография применима для производства дешевых печатных плат, не требующих высокой степени разрешения. В большинстве случаев это трафаретная печать, заключающаяся в нанесении на фольгу резиста через трафарет, соответствующий заданной схеме. Трафарет закрепляют на шелковой, нейлоновой или стальной нержавеющей