порйДка 200° С. На фторопластовых подложках могут быть осуществлены практически любые виды паек без нарушения или деформации подложки.

Из-за высокой химической стойкости требуется специальная обработка поверхности фторопластов перед металлизацией. Чаще всего для этой цели применяются смеси щелочных металлов с NHg или нафталином. Могут быть применены также подогретые галогенизированные углеводороды, только не для обработки тефлона перед металлизацией отверстий.

11. Металлы

Медь. Медь, описанная выше для применения на различных подложках, на сегодня является главным фольги-рующим материалом. В настоящем разделе рассматриваются поперечные микрошлифы медных проводников, приготовленных описанными выше способами и протравленных стан-

Рис. 6.5. Фотопечать и травление платы фольгированнои медью толщиной 50 мкм. Условия: раствор FeCls плотностью 42° Боме, 38° С, 3 мин (увеличение 300 ).

Рис. 6.6. Фотопечать и травление платы, фольгированнои медью толщиной 50 мкм. Условия: хромово-серная кислота, 38° С, 3 мин (увеличение ЗОО ).

дартными методами. В качестве примеров взят стандартный материал G-10, фольгированный одноунциевой медью. Все образцы протравлены методом разбрызгивания травителя, описанным выше. Каждый образец был изъят из травильной ванны, как только стало заметным сквозное протравливание. Травление осуществлялось в хлорном железе, персульфате аммония и в смеси хромовой и серной кислот.

Фоторезист KPR, метод прямой печати и последующего травления. На рис. 6.5 показана типичная картина после травления в хлорном железе в течение 2 мин. Такая же картина была прлучена после травления в течение 3 мин в пер-

сульфате аммония, катализированном хлористой ртутью.

На рис. 6.6 показана типичная картина края проводника после травления в смеси хромовой и серной кислот. Заметно некоторое подтравливание.

На рис. 6.7 и 6.8 показана типичная картина после травления в смесях персульфат аммония - серная кислота и хромовая кислота - серная кислота, соответственно. Заметен гибкий край меди, нависший в результате подтравливания, трудный для исправления дефект. Крацевание

Рис. 6.7. Луженая плата. Толщина фольги 50 мкм, толщина припоя 25 мкм. Условия: хро-мово-серная кислота, 38° С, 3 мин (увеличение ЗОС*).

Рис. 6.8. Луженая плата. Толщина медной фольги 65 мкм, припоя-25 мкм. Условия травления: хромово-серная кислота, 38° С, 2 мин (увеличение 300 X).

В этом случае не рекомендуется, так как это загрязнит плату. Частично могут помочь ультразвуковая обработка или обработка липкой лентой. Лучше всего в этом случае предпринять нагревание платы до расплавления припоя, при этом нависшая медь может раствориться в припое.

Оба травильных раствора вызывают потемнение припоя и в связи с этим получаемый рисунок схемы имеет низкую контрастность.

Золото по никелю. Такая комбинация используется на меди в качестве резиста для медных травителей. Применяется как средство предупреждения взаимной диффузии меди и золота при повышенных температурах. В этом случае также может иметь место некоторое изменение цвета из-за образования пленки окислов. Покрытие никель - золото образует, кроме того, барьер между медью и припоем. Припой в этом случае ложится хорошо, и плош;адь поперечного сечения проводников не уменьшается. Присутствие в покрытии никеля заметно изменяет конфигурацию подтравливания. В хлорном железе никель травится быстрее, и поэтому золото образует заметный козырек. Напротив, в персульфате

аммония никель почти не травится, выступая над краем медного проводника. Интенсивное крацевание или ультразвуковая обработка после этого могут испортить покрытие, если слой никеля был достаточно тонок (менее 1,2 мкм).

Рис. 6.9. Золото поверх никеля. Толщина медной фольги 50 мкм, никеля - 5 мкм, золота - 2,5 мкм. Условия травления - раствор FeCls плотностью 42° Боме, 38° С, 2 мин (уве.пичение 300 ).

Рис. 6.10. Золото поверх никеля. Толщина медной фольги 75 мкм, никеля - 5 мкм, золота - 2,5 мкм. Условия травления -раствор РеС1з плотностью 42° Боме, 38° С, 1 мин (увеличение 300 ).

На рис. 6.9 показан случай нависания золота над протравленным краем никеля. Практически не отличается от него и картина подтравливания на рис. 6.10, хотя время

Рис. 6.11. Золото поверх никеля. Толщина медной фольги 50мкм, никеля - 2,Ьмкм, золота - 2 мкм. Условия травления: персульфат аммония с хлорной ртутью, 38° С, 3 мин (увеличение 300 ).

Рис. 6.12. Золото поверх шке-ля. Толщина медной фольги - 75 мкм, никеля - 2,Ьмкм, золота - 2 мкм. Условия травления: персульфат аммония с хлорной ртутью, 38° С, 1,5 мин (увеличение 300 ).

Травления было меньше. В меньшей степени никель травится в смеси хромовой и серной кислот. На рис. 6.11 (сплошное покрытие по меди) и рис. 6.12 (избирательное покрытие по меди) показаны результаты травления с золотом по никелю в персульфате аммония. Подтравливание заметно и в этих